| 產品名稱型號 | 磁控濺射蒸發鍍膜儀 VTC-1RF-SPC |
| 基本參數 | · 電源：AC380V/50HZ · 額定功率：4.2KW |
| 不銹鋼腔室 | · 內徑φ250*高度360mm; · 腔體前部帶有一個CF100的真空密封法蘭，密封法蘭上面安裝了一個石英觀察窗口； · 腔體右側帶有一個從CF60法蘭接口，用于和分子泵進行連接 · 腔室上部有一個LF250法蘭接口，法蘭端蓋上部固定有濺射靶頭和樣品臺； · 腔體左側帶有一個KF63法蘭接頭，用于連接蒸發模塊； · 腔體右側帶有一個CF35法蘭接口，用于連接薄膜測厚儀； · 腔體后部帶有兩個精密調節針閥，用于控制進氣量，通過調節進氣量的大小，實現腔體內不同真空度的濺射； · 腔體后部預留一個1/16英寸的卡套接口，用于客戶后期連接質譜儀的檢測管道。
·腔室真空度： 冷態下，用VRD-48機械泵抽30分鐘，≤1Pa 冷態下，用FF-160/700分子泵抽30分鐘，≤8*10-4Pa |
| 濺射靶頭 | 磁控濺射靶頭固定在上法蘭端蓋上，通過焊接波紋管密封，方向朝上，和樣品臺形成45度夾角 · 標配1英寸的磁控濺射靶頭，內部嵌有冷卻水管，可以通水冷實現對磁鋼和靶材的冷卻，從而能夠可以長時間進行濺射； · 配有一手動操作的擋板，當第一次濺射清除靶材表面的氧化層和污物層，擋住基片，防止污染基片； · 樣品臺和靶頭之間的距離可以調節，調節范圍：60-100mm。 · 磁控濺射靶頭和法蘭端蓋可以電動升降 （可選配2英寸磁控濺射靶頭） |
| 樣品臺 | 樣品臺固定在腔體上法蘭端蓋上，方向垂直朝下 ·樣品臺通過磁流體密封，可實現樣品臺旋轉 ·樣品臺旋轉速度：0.5-5r/min可調 ·樣品臺尺寸：φ100mm，通過螺旋壓蓋固定樣品，可選配≤φ100mm的各種尺寸掩膜版，以實現對不同樣品尺寸的鍍膜制備 ·樣品臺最高溫度可達700度（≤30min），長期使用溫度500度，樣品臺加熱系統通過一程序溫控系統進行控制，可實現30段程序控溫，通過PID調節實現精確控溫，控溫精度±3℃。 ·樣品臺和法蘭端蓋可以電動升降
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| 蒸發模塊 | · 從腔室右端采用KF50快接法蘭與不銹鋼腔體進行連接，保證腔室的真空度 · 采用鎢絲作為發熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制 · 標配采用S型熱電偶，蒸發工作溫度為200-1300度 · 蒸發模塊加熱系統通過一程序溫控系統進行控制，可實現30段程序控溫，通過PID調節實現精確控溫，控溫精度±3℃。 · 蒸發模塊和樣品臺之間的距離為：60mm · 蒸發模塊坩堝尺寸：外徑φ19.6*內徑φ15.4*高度24mm,可選配其它材質坩堝，如不銹鋼坩堝等。
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| 控制面板 | 控制面板采用一個7寸觸摸屏實現集成控制 · 可在觸摸屏上操作真空系統，顯示真空度 · 可在觸摸屏上進行樣品臺加熱溫控程序的設定和蒸發模塊溫控系統的設定 · 可控制樣品臺的旋轉并設置樣品臺旋轉速度 · 控制電動插板閥的啟動和關閉
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| 射頻電源 | · 輸入電源：220V · 輸出功率：0-300W · 輸出頻率：13.56 MHZ · 冷卻方式：設備內部的冷卻方式為風冷 · 尺寸：132（長）*442（寬）*405mm（高） （可根據濺射靶材不同選配直流電源） |
| 分子泵 | · 分子泵型號：FF-160/700 · 抽氣速率：700L/S · 極限壓強：6*10-7Pa（不帶負載） · 啟動時間：＜4min · 額定轉速：36000 R/min · 冷卻方式：風冷加水冷 · 抽氣口接口尺寸：CF160 · 帶電動插板閥：可在觸摸屏中控制電動閥的啟動和關閉
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| 分子泵控制器 | · 型號：TCP-II · 電壓：AC220V/50HZ · 輸出功率：750W · 加速時間：5min · 輸出頻率：0-1300HZ |
| 復合真空計 | · 型號：ZDF-III · 工作電壓：AC220V 50/60HZ · 電阻規阻值：約85歐 · 自動保護（電離）＞10Pa · 電阻規測量范圍：105-10-1Pa · 電離規測量范圍：100-10-5Pa |
| 前級機械泵（選配） | · 抽真空接口為KF40接口 · 真空泵：VRD-48，抽速48M3/H(13.3L/S) · 電機功率：1500W · 電機電源：AC380V/50HZ · 極限真空：4*10-2Pa(不帶負載) · 真空計：ZDZ-52T V01型電阻真空計
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| 水冷設備（選配） | · 型號：KJ-5000 · 工作電流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（長×寬×高） |
| 膜厚檢測儀（選配） | · 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監測薄膜的厚度，分別率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數據
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| 外形尺寸 | 長840*寬750*高1900mm
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| 重量 | 約310KG |
| 質保 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
注意事項 | 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發生（如腔室破裂，法蘭飛出等） 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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皖公網安備 34012302000974號
