| 產(chǎn)品名稱(chēng) | · 1200℃小型雙爐體滑動(dòng)TCVD爐(50mm石英管) |
| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
| 主要特點(diǎn) | · 包含兩個(gè)爐體。 · 爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可手動(dòng)使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 · 最高溫度可達(dá)1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 · 開(kāi)門(mén)斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 |
| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1200℃（≤30min） 工作溫度: 1000℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 額定功率：3KW |
| 爐管及滑軌 | · 高純石英管50mm外徑x 1500mm長(zhǎng) · 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 · 滑軌長(zhǎng)度：1600毫米 |
| 真空法蘭 | · 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。 · 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體。 · 一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監(jiān)控管道壓力。 · 法蘭端提供多種接頭可選，具體請(qǐng)咨詢(xún)銷(xiāo)售。 |
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 認(rèn)證 | · 此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證 證書(shū)編號(hào)：M.2021.206.C67998 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1000℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題。 |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 滑動(dòng)加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做，請(qǐng)穿戴防護(hù)裝備，例如耐熱服和手套。 加熱時(shí)請(qǐng)勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣，請(qǐng)務(wù)必穿戴好安全裝置. |
可選配件 | · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）。(圖1) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來(lái)監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2) · 可選購(gòu)歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3) · 可選購(gòu)石英管堵，提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖4） · 可選購(gòu)石英舟盛放樣品。（圖5）
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 |
| 電動(dòng)滑軌（選配） | · 可選購(gòu)電動(dòng)滑軌，更加方便安全。
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| CVD系統(tǒng)（選配） | · 可搭配等離子射頻電源、供氣系統(tǒng)來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。
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溫度校準(zhǔn)(選配） | · 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括： · K型熱電偶 · Omega溫度校準(zhǔn)器 · 熱電偶補(bǔ)償線
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PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買(mǎi)爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買(mǎi)帶有PC控制的加熱爐，如有疑問(wèn)請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類(lèi)型依賴(lài)性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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