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1200℃頂部籽晶法晶體生長(zhǎng)爐
型號(hào):
SKJ-50CZ
產(chǎn)品概述:
SKJ-50CZ是頂部籽晶法晶體生長(zhǎng)爐,可利用助溶劑法生長(zhǎng)各種材料單晶。配備精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)可用于頂部提拉籽晶助溶劑法生長(zhǎng)各種晶體材料,提拉和旋轉(zhuǎn)速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡(jiǎn)單。采用感應(yīng)加熱,最高溫度可到達(dá)1200℃,24段可編程控制器,可根據(jù)不同的客戶需求來(lái)設(shè)定升降溫程序。配備精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)可用于生長(zhǎng)各種晶體材料,提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度均可根據(jù)客戶要求定制。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)

· 采用觸摸屏控制,一鍵啟動(dòng)/停止多溫區(qū)

· 諧波減速器+伺服電機(jī)保證提拉精度


感應(yīng)電源

· 采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體,腔體尺寸:φ620*570mm,腔體最低真空度:0.5Pa

· 腔體頂部的KF50接口與提拉機(jī)構(gòu)上的焊接波紋管連接,提拉桿通過(guò)此接口到達(dá)腔體內(nèi)部;腔門(mén)上有一個(gè)80*300mm的方形觀察窗口,

· 設(shè)備安裝了一個(gè)LED照明燈,通過(guò)腔體頂部的一個(gè)石英窗口探照在腔體內(nèi)部。

· 腔體右側(cè)面有兩個(gè)KF25的接口,一個(gè)接口上安裝了一個(gè)KF25轉(zhuǎn)KF16的轉(zhuǎn)接頭,轉(zhuǎn)接頭上安裝了一個(gè)數(shù)顯真空計(jì);,另一個(gè)KF25接口為備用接口

· 含有兩個(gè)φ6.35mm的雙卡套接頭,一個(gè)為進(jìn)氣口,一個(gè)為出氣口,分別通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的通斷,出氣口安裝了一個(gè)安全泄壓閥,當(dāng)腔室內(nèi)氣壓達(dá)到上限壓力時(shí),安全閥自動(dòng)打開(kāi)排氣。

· 安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)真空度

· 腔體背面的KF40接口通過(guò)為抽真空接口,通過(guò)擋板閥和波紋管與真空系統(tǒng)連接。

· 腔體頂部預(yù)留一個(gè)石英觀察窗口,用于客戶后期安裝紅外測(cè)溫儀進(jìn)行高溫晶體生長(zhǎng);

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控溫系統(tǒng)

· 采用觸摸屏控制,一鍵啟動(dòng)/停止

· 該系統(tǒng)采用高分辨率觸感靈敏的電容屏作為操作界面

· 包含一塊歐陸儀表溫度控制器,控溫精度可到達(dá)±0.1°C,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置24段升溫程序。


提拉機(jī)構(gòu)

· 提拉桿:φ30mm的不銹鋼桿,提拉籽晶桿帶水冷機(jī)構(gòu),可以在旋轉(zhuǎn)和提拉的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)水冷功能,便于形成溫度梯度,利于單晶生長(zhǎng)。

· 提拉速度:0.05—10mm/h(可調(diào))

· 旋轉(zhuǎn)速度:0-120r/min(可調(diào)),

· 最大提拉行程:300mm

· 帶有手動(dòng)操作可快速升降

圖片2.png

坩堝與保溫材料

· 標(biāo)配兩個(gè)鎳坩堝和一個(gè)氧化鋁坩堝,鎳坩堝尺寸:φ88*φ82*150mm,φ88*φ82*105mm;

  氧化鋁坩堝尺寸:ф60*60,試驗(yàn)時(shí),在氧化鋁坩堝內(nèi)放入物料,然后在其外部套上鎳坩堝

· 坩堝包裹在一個(gè)氧化鋁保護(hù)套內(nèi)(帶有上蓋),即可防止熱量流失也可將坩堝牢牢的固定在線圈上

· 保護(hù)套蓋子頂部帶有通孔,籽晶桿通過(guò)通孔達(dá)到坩堝內(nèi)部提拉生長(zhǎng)晶體;

· 坩堝底部帶有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),一個(gè)調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品和坩堝旋轉(zhuǎn)。

· 坩堝旋轉(zhuǎn)速度:1-20r/min可調(diào)

· 腔體底部有一鎧裝接口,一根S型熱電偶從接口穿過(guò)法蘭和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)到達(dá)坩堝底部,用于測(cè)量樣品溫度。

圖片3.png 

二次加料裝置

· 設(shè)備頂部安裝了一個(gè)不銹鋼材質(zhì)的二次加料裝置,裝置內(nèi)部安裝了一個(gè)導(dǎo)料板,物料通過(guò)導(dǎo)料板滑入坩堝內(nèi)

· 加料裝置底部為KF25接口,加料口內(nèi)徑:φ20mm

· 內(nèi)置3個(gè)加料口,可在實(shí)驗(yàn)中加入三種不同或相同物料,每個(gè)加料口最多可加入物料為50ml。通過(guò)旋轉(zhuǎn)手柄的方式加料。

圖片4.png 圖片5.png 

高清攝像可視化系統(tǒng)

? 腔體前面觀察窗口位置安裝一個(gè)攝像頭和調(diào)節(jié)鏡頭對(duì)內(nèi)部樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)原位觀察。

攝像頭技術(shù)參數(shù):

? 400萬(wàn)星光級(jí)1/1.8” CMOS超寬動(dòng)態(tài)ICR日夜型槍型網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)

? 最低照度:彩色:0.0005 Lux@(F1.2,AGC ON);黑白:0.0001 Lux@(F1.2,AGC ON)

? 寬動(dòng)態(tài):120db

? 最大圖像尺寸:2560*1440

? 視頻壓縮標(biāo)準(zhǔn):H.265/H264/MJPEG

? 網(wǎng)絡(luò):1個(gè)RJ45 10M/100M 自適應(yīng)以太網(wǎng)口

? 支持RS-485

? 模擬輸出接口 1路(CVBS輸出BNC接口)

? 電源輸出:DC12V,100mA

? 接口類型:內(nèi)插式

? 觀察的圖像可以實(shí)時(shí)的顯示在電腦顯示屏幕上

圖片6.png 圖片7.png  


水冷設(shè)備

· 型號(hào):KJ-7500

· 電源:AC 3P 380V 50HZ

· 功率:8.86KW

· 工作電流:2.1-18.9A

· 制冷量:61416Btu/h

· 水箱容量:70L

· 出入水口:Rp1″

· 最大量程:117L/min


真空系統(tǒng)

· 型號(hào):VRD-48

· 抽氣口接口尺寸:KF40

· 抽氣速率:13.3L/S

· 電機(jī)功率:1500W

· 極限壓強(qiáng):4*10-2Pa(不帶負(fù)載)

· 實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘)

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5torr 或更高)可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

企業(yè)微信截圖_20250313154305.png 11.jpg 

產(chǎn)品外形尺寸

· 單晶爐: 1760mm(L) x 1050mm(W) x 2730mm(H)

· 水冷設(shè)備:700mm(L) x 1130mm(W) x 1455mm(H)

· 感應(yīng)電源:1000mm(L) x 1450mm(W) x 1570mm(H)

· 供電電源:400mm(L) x 750mm(W) x 1050mm(H)

圖片8.png 圖片9.png圖片10.png   

質(zhì)量認(rèn)證

·CE認(rèn)證


質(zhì)保

· 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含石英,密封圈,加熱元件和樣品夾緊桿等易損件)


凈重

·約400kg




應(yīng)用注意事項(xiàng)


· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。

 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 定期檢查控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱電源和感應(yīng)線圈的各連接點(diǎn)的連接是否緊固

· 爐溫不得超過(guò)額定溫。

· 此款設(shè)備必須在流動(dòng)氣氛下使用,但一定要保證管內(nèi)不出現(xiàn)正壓,在加熱之前請(qǐng)一定要確定設(shè)備是否處在負(fù)壓狀態(tài),在加熱期間時(shí)刻觀察壓力的變化,

如果由于膨脹氣壓超過(guò)表壓的0.05MPa處需立即停止加熱,防止出現(xiàn)安全問(wèn)題


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