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1200℃&130管徑mistcvd系統
型號:
OTF-1200X-III-S-MCVD φ130
產品概述:
超寬帶隙氧化物晶圓霧化生長設備 OTF-1200X-III-S-MCVD φ130主要是由三溫區管式爐、霧化裝置、真空機組以及供氣系統等組成。該設備可將溶于液體的物料通過超聲霧化裝置霧化輸送至爐管腔室內,再通過供氣系統創建腔室內部氣氛環境(達到操作需要的氣氛環境),然后以此氣氛環境操作管式爐加熱等,燒結爐管內樣品材料。(圖片僅供參考,請以實物為準)
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
系統結構

? 霧化裝置:配有1.7MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成液體顆粒,導入到管式爐中。
? 加熱部分(管式爐):管式爐最高溫度可以達到1200℃。

? 真空系統:極限真空度為5×10-1Pa(不帶負載)


管式爐-加熱部分

? 電壓:單相, 220V AC,50/60 Hz

? 最大功率:5KW

? 連續工作溫度:1100℃

? 最高工作溫度:1200℃(<1h)

? 推薦升溫速率≤ 10℃/min

? 加熱元件:電阻絲

? 加熱區長度:600mm(150mm+300mm+150mm)

控溫系統:

· 三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制

· 包含三個858P型溫度控制器

· PID自動控溫系統

· 可設置50段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護

· 控溫精度為:+/- 1oC

· 默認DB9 PC通信連接端口

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

爐管:

? 采用高純石英管

? 石英管尺寸:Φ130*1200mm

密封法蘭:

·一對φ130mm的水冷法蘭安裝在爐管兩端,采用硅膠O型圈密封;兩端法蘭上有水管接口,通過串聯的方式與水冷設備連接。

· 左端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進氣口,一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷;安裝了一個量程-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內壓力;

  法蘭的KF接口上連接了一個快接接頭與霧化裝置相連;法蘭內部安裝了一根進霧管,使氣霧能直接到達基片的位置。

· 右端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為出氣口,一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷;安裝了一個安全泄壓閥,當爐管內壓力達到上限壓力時,安全閥自動打開排氣;

  一個KF25接口連接了一個不銹鋼三通,三通上的KF25接口與真空系統連接;三通上的KF16接口為備用接口,可選配安裝數顯壓力表。 

圖片7.png 圖片8.png  

超聲霧化裝置

·配置有1套超聲霧化裝置

霧化裝置參數:

? 220VAC ,1.7MHz

? 液體罐標配為316不銹鋼材質(PTFE及其它材質的罐子可以與銷售聯系進行定制),并采用氟膠密封圈密封;

· 罐蓋上設有一個進氣口和一個出霧口,進氣口通過四氟管與供氣系統相連,出霧口通過水管連接到設備內部。

? 可設置1-3檔霧化量,通過調節檔位大小,控制霧化量的多少;

? 可實現連續運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調

· 霧化片尺寸:1.2mm×φ20

注射泵參數:

· 標配一套液體注射泵,用于自動進液

· 標配一個最大容積為60ml的注射針筒用于盛放溶液

· 4.3寸彩色液晶觸摸屏方便操作

· 線速度范圍:6.1um-120mm/Min

· 注射液體速度:3.9ul-76.5ml/min(按照60ml注射器計算)

· 適用注射器類型:10ul-60ml

· 控制精度:當>30%滿程時,控制誤差≤±0.3%

圖片9.png


供氣系統

· 型號:GSL-3Z-LCD

· 電源:AC 220V 50HZ

· 功率:23W

· 流量計量程:一路:1-200sccm

        二路:1-200sccm

        三路:1-500sccm

· 精度:±1.5%FS

· 線性:±(0.5~1.5)%F.S.

· 重復精度:±0.2%F.S.

· 最大壓力:3*106Pa

· 供氣系統的混氣出口通過氣管與霧化罐的進氣口相連。

圖片10.png

真空系統

· 型號:VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機功率:370 W

· 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負載)

· 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統


水冷設備(選配)

· 型號:KJ-5000

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

· 外形尺寸:550*280*430mm

圖片11.png 

重量

·約180kg


外形尺寸

·2000mm(L)*800mm(W)*1400mm(H)

圖片12.png 

質保期

? 一年質保,終身維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件)


質量認證

? CE認證

? 所有電器元件(>24V)都可以選擇通過UL/MET/CSA認證

? 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證




使用注意事項

· 石英腔體內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,

 若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。

 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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