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1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(HVPE)
型號:
OTF-1200X-S-D φ80mm
產品概述:
OTF-1200X-S-D是一款小型雙溫區連體式可開啟管式爐,其最高工作溫度可達1200℃,此款管式爐的爐管為高純石英管,其直徑為80mm。配有一套不銹鋼密封法蘭,樣品可在真空狀態或氣氛保護狀態下進行熱處理。管式爐擁有兩個加熱長度為200mm的加熱區,兩個溫控系統分別獨立控制兩個溫區,都可設置50段升溫程序,控溫精度為±1℃。(圖片僅供參考,請以實物為準)
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱型號

1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(HVPE) OTF-1200X-S-D φ80mm

雙體小型管式爐

· 設備由兩臺單溫區管式爐組成

· 工作溫度:1200℃(<30min) 

· 連續工作溫度:1100℃

· 建議加熱速率:≦10℃/min

· 加熱區長度:400mm(每臺爐子溫度長度200mm) 

· 加熱元件:電阻絲

· 電壓:AC 220V 50Hz 

· 功率:3KW

· 熱電偶:K型


爐管

· 爐管材質:高純石英管

· 爐管尺寸:φ80*1200mm

· 為了保證溫場均勻性和法蘭的密封性,儀器使用升溫前需要在爐管兩端塞入氧化鋁管堵,防止熱量的散失


不銹鋼密封系統

· 一對φ80mm的不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端,采用硅膠O型圈密封

· 左端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進氣口,一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷,安裝了一個量程為0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內壓力;

· 右端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進氣口,法蘭內部進氣口的位置安裝了一個進氣管,進氣管延伸到左側爐體的中間位置(爐管右側管堵帶有圓形通孔,方便進氣管通入);

  一個φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口,一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷;一個KF25接口通過不銹鋼波紋管與冷阱連接,冷阱另一端與真空系統相連。

· 爐管漏出爐體部分安裝有防爆箱,保證了實驗的安全性

圖片1.png 圖片2.png  

溫控系統

· 包含兩個858P型溫度控制器;

· PID自動控溫系統;

· 智能化50段可編程控制;

· 內置過熱保護和熱電偶故障報警;

· 控溫精度:±1℃;

· 默認DB9 PC通信連接端口;

· 通過MET認證;

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據;

圖片3.png 

冷阱

· 真空泵前端可選配安裝一個冷阱,用于收集熔煉過程中的揮發物質

· 裝置的外殼及內部均采用304不銹鋼材質并做了拋光處理,具有抗腐蝕、易清洗、無污染且耐用的特點

· 冷阱改采用透明丙烯酸材料,方便觀察

· 真空接口(可選):KF-25,KF-40

· 真空度:5*10-4torr

· 內部冷卻劑容器尺寸:φ160*195mm

· 外部氣體室罐體尺寸:φ215*210mm

圖片4.png 

氣體探測器

· 備有一套氫氣探測器在此系統中,為固定式,安裝在固定支架上面,可以實時監測設備氫氣的泄漏情況;

· 氫氣監測范圍:1-1000ppm

· 工作溫度:-20℃——60℃

· 報警點設置:氫氣報警器設置有兩個報警,第一級的報警點50ppm,一旦探測到氫氣濃度達到此值時,氫氣報警器將發出蜂鳴報警聲,提醒客戶檢查漏氣點。

  第二級的報警點為100ppm,一旦探測到氫氣濃度到達此值時,系統自動關閉氫氣進氣閥。

圖片5.png

真空系統(選配)

· 型號:VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機功率:370 W

· 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負載)

· 實際壓強:≤5 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態下機械泵抽20分鐘)

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5torr或更高)可選購國產或進口高真空機組

多種真空系統可選.jpg

設備外形尺寸

· 設備主體:1550mm(L)*450mm(W)*450mm(H)

· 控制柜:370mm(L)*250mm(W)*425mm(H)

圖片6.png 

重量

·約95KG


質保

一年質保期,終生維護

· 特別提示:

 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內

 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內



使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,

 則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。

 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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