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750℃&5T真空平板熱壓機
型號:
VHP-5T-4
產品概述:
VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理最大樣品尺寸為350mm x 350mm。儀器最高工作溫度為750℃,在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為5T。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數

·電源:AC220V , 50 Hz 單相,總功率:15KW

·兩塊350mm x350mm加熱平臺,采用310S不銹鋼鋼制成,最高可承受溫度為750℃(<30min)

·12根加熱管布置在上下加熱平臺的內部,以達到快速加熱的效果

·兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設置30段升降溫程序


上下加熱平臺和真空腔體

·上下加熱平臺都安裝在真空腔體內,上下加熱平臺尺寸:350*350mm

·上下加熱板平面度<0.03mm(在有效面積250mm*250mm范圍內)

·真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態下腔體變形),真空度可以達到10-2torr

·內部腔體尺寸為:長664×寬624×高719mm,厚度3mm

·可放入樣品最大尺寸:長*寬*高=350*350*200mm

·真空腔體前端有一直徑為φ150mm的觀察窗口

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·一個機械壓力表安裝在真空腔體上,用于觀察腔室內真空度。預留的KF16接口可選擇安裝數顯真空計

·腔體左側面板含有兩個φ12的水管接頭,用于連接水冷設備,一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用,并通過一個球閥控制進氣的通斷

·腔體背面有兩個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并分別通過一個球閥控制出氣的通斷

·腔體右側面有一個KF25和一個KF40的抽真空接口,方便客戶匹配各種型號的真空系統

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·腔體的四個面都安裝有風扇,能降低腔體表面溫度


溫控系統

·兩個精密的溫控系統可設置50段升降溫程序,控溫精度為±1℃,750度恒溫時的溫度波動±10℃,,分別獨立控制兩個加熱平臺

·溫控系統采用PID方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護

·最高工作溫度為:750℃(<30 min)

·最快升溫速率: 10℃/min

·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導入到電腦中(另購)

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壓力控制系統

·最大壓力:5T(5000kg)

·絲桿可移動距離:200mm

·壓力顯示范圍:1.00-5000.00kg

·壓力控制范圍:30-5000Kg

·保壓時間:1-9999min

·設備有兩種工作模式:手動加壓和自動加壓。

 自動加壓模式下設備帶有恒壓功能:當壓力值達到目標值后,在保壓的過程中,設備持續補壓使壓力保持在設定值。恒壓精度:±3kg

·在手動模式下通過操作壓機面板上的按鈕,實現加壓泄壓過程


水冷設備(選配)

·兩個水冷板分別設置在上下加熱板上,在真空腔體內部采用不銹鋼軟管進行連接,腔體外部采用透明PVC水管連接水冷機

·可選購本公司循環冷水機進行冷卻

·型號:KJ-6200

·工作電壓:AC 220V 50HZ

·工作電流:2.3-13A

·制冷量:17510Btu/h

·功率:3000W

·水箱容量:15L

·最大流量:70L/min

·凈重:82Kg 

·外形尺寸:600*470*890mm 

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真空系統 (選配)

·型號:VRD-48

·抽氣速率:13.3 L/S

·電機功率:1500W

·極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載)

·進、排氣口連接口:KF40

·如果想要獲得更高的真空度(10-5toor 或更高)可選購國產或進口高真空機組

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外形尺寸

·1190L×1080W×1900Hmm

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重量

·約730Kg


質保

·一年質保期,終生維護

·特別提示:

1、耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內




 注意事項

·不可過壓過溫使用,最高溫度為750度,最高壓力5T

·加熱前請務必通上水冷,防止損壞壓力機,使用前請檢查水冷機的水位情況及水冷機是否漏水

·現場請留有工作人員,防止突發事件發生

·保持整個機器的清潔。防止粉塵,最好將機器放在一個無粉塵的環境中工作

·當收到設備后,在使用設備前請將上下加熱板上的防銹油用酒精或汽油等有機溶劑擦拭干凈


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