| 名稱型號 | ·1200℃大口徑四溫區(qū)開啟式全自動CVD系統(tǒng) OTF-1200X-Ⅳ-/8.5″/11″//15″-CVD |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·采用觸控一體機(jī)控制三個模塊系統(tǒng) ·可存儲實(shí)驗(yàn)參數(shù)生成工藝曲線，可調(diào)取工藝曲線一鍵運(yùn)行設(shè)備 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失
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| 加熱爐系統(tǒng) | ·電源：AC380V 50HZ ·最大功率：36KW（設(shè)計(jì)最大功率） ·最高溫度：1200℃（1200℃＜30min） ·額定溫度：1100℃ ·建議升溫速率：≤10℃/min ·熱電偶：K型 數(shù)量：4支 ·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 ·加熱區(qū)長度：1320mm(330+330+330+330mm) ·說明：可以根據(jù)客戶要求定制其他溫區(qū)長度
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| 溫控系統(tǒng) | ·包含一款858P型溫度控制器（也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃） ·標(biāo)配4根歐米伽鎧裝熱電偶 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度：±1℃ ·可選購電腦溫度控制軟件用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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| 爐管 | ·高純石英管可以選配以下尺寸： ·8.5″：216 O.D x 208 I.D x 1700 L (mm) ·11″ ：280 O.D x 272 I.D x 1700 L (mm) ·15″ ：380 O.D x 372 I.D x 1700 L (mm)
石英管 石英管堵
·可選購大口徑石英樣品臺 |
| 不銹鋼密封水冷法蘭系統(tǒng) | ·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O型密封圈密封 ·左側(cè)水冷法蘭包含真空壓力表、不銹鋼針閥和G1/4進(jìn)氣口 ·右側(cè)水冷法蘭：帶有1/4”不銹鋼針閥排氣口及KF40抽真空接口，方便連接到KF40使用的波紋管、泵和KF40擋板閥（如您的泵是KF25接口，需要配備一個KF40轉(zhuǎn)KF25轉(zhuǎn)接頭，可在我公司選購）
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| 水冷設(shè)備（選配） | ·型號：CW-5000 ·壓縮機(jī)功率：0.3KW ·水流速率：16L/min ·水箱容量：6L ·溫度控制：5-30℃
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| 供氣系統(tǒng) | ·四通道質(zhì)子流量控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量精確控制（±0.02%） ·流量范圍: 一路 0-100SCCM 二路 0-200SCCM 三路 0-200SCCM 四路 0-500SCCM ·氣體進(jìn)出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管 ·電磁閥控制氣體進(jìn)出 ·可以通過觸控一體機(jī)進(jìn)行流量設(shè)置 |
| 真空系統(tǒng) | ·配套機(jī)械泵，真空度可以達(dá)到10-2 ttor ·配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 ttor（選配）
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| 軟件控制系統(tǒng) | 1.通過觸控一體機(jī)可以手動和自動控制加熱爐系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng) 2.預(yù)設(shè)工藝自動控制流程步驟如下圖
3.加熱爐溫度，管內(nèi)真空，進(jìn)氣流量，這些數(shù)據(jù)可以實(shí)時記錄。如下圖
4.軟件有工藝曲線自動生成功能，把加熱爐溫度，真空度，進(jìn)氣流量等參數(shù)進(jìn)行存儲生成工藝流程，最大可以存儲100條工藝流程，也可以調(diào)出工藝流程一鍵自動運(yùn)行設(shè)備
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| 產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸：2520*1050*1510mm（長*寬*高 ）
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| 重量 | ·約210kg |
| 保質(zhì)期 | ·1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
使用注意事項(xiàng) | · 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé) · 設(shè)備需在獨(dú)立供電網(wǎng)下工作，電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi)，不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng)，遠(yuǎn)離中頻設(shè)備，防止空間電磁輻射 ·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備，或者大型感性負(fù)載，應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波，配置電容柜自動補(bǔ)償，諧波檢測和治理，對設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理，否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞！此類問題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不屬于保修范圍 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在液體飛濺場所 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末 ·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正常現(xiàn)象，可使用修補(bǔ)劑修補(bǔ)，加熱元件為損耗件，在電爐長時間使用后無法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換 ·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1000℃，低溫運(yùn)行會存在溫度振蕩 ·不建議500℃以上開啟爐膛 |
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