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·1200℃自動化智能化CVD系統(tǒng)    GSL-1200X-CVD-ASD

·可配合協(xié)助機器人完成自動放樣，自動關(guān)閉及密封法蘭，通入惰性氣體清洗，自動控制供氣流量，升溫，恒溫，降溫，自動打開法蘭取出樣品，可以進行多次循環(huán)操作

·通過機器人實現(xiàn)對樣品自動放取，實現(xiàn)工藝的完全自動化，

·購買多臺設(shè)備可以實現(xiàn)高通量樣品燒結(jié)，一臺機器人對多臺設(shè)備進行取放樣。

·雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng)。

·帶有數(shù)顯真空計可做微正壓恒壓控制（103000-120000Pa），維持爐內(nèi)的壓力，

·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節(jié)能

·電源電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率：6KW

·最高溫度：1200℃（≤30min）

·連續(xù)工作溫度：1100℃

·加熱區(qū)長度：350mm

·加熱元件：電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金）

·熱電偶類型：K型

·推薦升溫速率：≦10℃/min

·爐管：尺寸：φ150*600mm

    材質(zhì)：高純石英

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃）

·PID自動控溫系統(tǒng)

·智能化50段可編程控制

·通過UL認證

·控溫精度：±1℃

·一套6英寸全自動密封不銹鋼水冷法蘭，通過電缸進行恒壓力密封和自動開啟

·設(shè)備需搭配水冷機使用（進出水口為φ12mm）

·右端法蘭留有一個G1/4雙卡套出氣口與設(shè)備內(nèi)置出氣系統(tǒng)連接，

一個G1/4鎧裝熱電偶插入口用于檢測管內(nèi)溫度

·右邊法蘭內(nèi)側(cè)有樣品放置平臺（支撐架尺寸詳見目錄 樣品臺支架）

·左邊留有KF25抽氣口用于連接真空泵，配有數(shù)顯真空計，一個G1/4進氣口。

·設(shè)備帶有真空泵外接三芯插座和真空電磁擋板閥的外接航空插頭（將真空泵接入插座后，真空泵的運行和電磁擋板閥的開合由該系統(tǒng)自動控制）

·樣品臺支架有兩種，

一種可以放四個坩堝（坩堝材質(zhì)可以根據(jù)客戶需求定制，如石英，氧化鋁，石墨）

·樣品臺支架材質(zhì)是石英的

·坩堝尺寸外徑40mm高30mm

·樣品臺支架留有機器人抓取位置

·樣品臺帶有刻碼處理便于視覺傳感器捕捉

一種可以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖

通過軟件可以進行以下操作

·設(shè)置加熱爐升溫曲線，設(shè)置通入加熱爐內(nèi)氣體流量大小，設(shè)置取放樣循環(huán)次數(shù)。

·參數(shù)設(shè)置完成后，加熱爐配合機器手可以完成以下流程

1.機器人裝樣后，能夠自動關(guān)閉艙門

2.通入流動保護氣體

3.執(zhí)行程序多段升溫恒溫和降溫步驟（高達50段）

4.程序完成后，停氣，能夠在500度打開艙門完成換樣，

（注：換樣過程中爐子需要盡量恒溫，保持加熱狀態(tài)）

5.換樣完成后，可以繼續(xù)重復進行原有的溫度程序。

（程序開源，配合機械手和對軟件進行嵌入式循環(huán)工藝控制）

6.全流程自動記錄工藝

軟件顯示顯示以下參數(shù)：

·爐管內(nèi)壓力

·設(shè)備內(nèi)置一路0-1000sccm的質(zhì)量流量控制器

·清洗周期（0-3次）

·前面板上安裝RJ45通信接口，可連接PC或無線路由器實現(xiàn)遠程控制(PC和路由器可另行提供)  

·電腦操作軟件，可支持多臺加熱爐

·向現(xiàn)有客戶開放通信代碼，將設(shè)備與機器人連接，實現(xiàn)無人操作  

·額定負載：5KG

·工作半徑：850mm

·最大臂展：1096mm

·額定電壓：DC48V

·本體重量：25KG

·重復定位精度：±0.02mm

·通訊方式：TCP/IP,Modbus,無線網(wǎng)絡(luò)

·典型功耗：150W

·型號：KJ-5000

·工作電壓：AC 220V 50HZ

·工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

·壓縮機功率：300W，水箱容量：6L

·最大流量：16L/min，凈重：24 Kg

GSL-LCD是一款低成本的流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重約450公斤（1000lbs），與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個6″的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料CVD實驗和退火實驗。

產(chǎn)品特點：

1、適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管

2、氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便

3、采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作

4、所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸

基本參數(shù)：

1、電源：AC 220V 50HZ

2、功率：23W

3、工作溫度：5-45℃

4、最大壓力：3*10-6Pa

5、精度：±1.5% FS

6、重復精度：±0.2% FS

7、流量范圍：100、200、200、500sccm

PLC觸摸屏：

1、各通道的氣路設(shè)定和查看都集中的6″的觸摸屏上

2、RS485通訊接口通過信號線連接在電腦上，可在電腦上進行遠程控制

機械壓力表與混氣罐：

1、有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣罐相連接

2、壓力表量程：-0.1~0.15MPa

3、混氣罐尺寸：φ80*120mm

通氣管道與截止閥：

1、內(nèi)部連接管道為1/4″不銹鋼管和四氟管

2、外部連接管道為1/4″四氟管連接氣瓶

3、控制閥門為316不銹鋼雙卡套角式穿板截止閥

GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統(tǒng)，內(nèi)部含一抽速可達6.6L/s的雙級旋片機械泵VRD-24，通過PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率，進而獲得對腔室內(nèi)壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合，實現(xiàn)PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。廣泛應(yīng)用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。

產(chǎn)品特點：

1、含一雙旋片機械泵VRD-24，抽速可達6.6L/s

2、PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷

3、通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制

輸入電源：

1、208-240VAC, 單相, 50/60Hz

2、功率為1000W

真空測量單元：

1、型號：PGC-554-LD

2、測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr

3、精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系統(tǒng)：

1、機械泵型號：VRD-24

2、抽速：6.6L/S

3、進氣口：KF25

4、工作環(huán)境溫度：5-40℃

5、噪音：≦58 dB  

6、極限真空度：3*10-4 torr（不帶負載） 

壓力恒定控制系統(tǒng)：

1、壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm）

2、壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

              ＞2.5torr-----10torr（±%40）

             ＞10 torr------200torr（±%5）

·外形尺寸：2000*1000*1800mm（長*寬*高） 

·約400kg

·1年質(zhì)保，終身維護（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）

·剛玉管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；

·設(shè)備需在獨立供電網(wǎng)下工作，電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi)，不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng)，并不可與該類型設(shè)備處于同一房間，如無法做到請對電網(wǎng)進行諧波檢測和治理，對設(shè)備進行電磁隔離處理

·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。

·設(shè)備請遠離存在液體飛濺場所

·設(shè)備請遠離存在導磁導電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正常現(xiàn)象，可使用修補劑修補，加熱元件為損耗件，在電爐長時間使用后無法達到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進行更換，

·該設(shè)備高精度溫控范圍為500-1600℃，低溫運行會存在溫度振蕩，

·該設(shè)備不建議在低于1000℃以下工作，這樣會降低加熱元件的壽命

·不建議500℃以上開啟爐膛

·請保持氣動供氣源的壓力穩(wěn)定（0.5-0.6mpa）

·剛玉管和內(nèi)置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件，不在質(zhì)保的范圍