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小型提拉法(CZ)單晶生長爐(可用于生長直徑<25mm晶體,最高溫度2100℃)
型號:
IMCS-2000-CZ
產品概述:
IMCS-2000-CZ是一款小型的提拉法(CZ)晶體生長爐,生長單晶直徑<25mm。此設備最高溫度可達2100℃,可用于生長Al2O3,GGG,YAG,LaAlO3,Si,Ge和各種金屬單晶等。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
電源需求

·輸入電壓:380VAC,三相  (需要50A空氣開關)

·感應加熱最大輸入電流50A

·最大輸出功率25KW


真空腔體

·真空腔體采用304不銹鋼制作

·真空腔體尺寸:Φ350×350mm

·腔體門上有一石英窗口(Φ120mm),用于觀察材料熔化,種籽晶和長晶過程

·一個KF25接口和一個KF40真空接口在腔體后端

·LF160接口在腔體右側,用于連接分子泵系統。

圖片3.png

提拉機構

·提拉機構采用精密伺服電機驅動

·提拉速度:0.1-10mm/hr

·提拉干旋轉速度:0.1-23RPM

·移動行程:0-150mm

·提拉機構可快速移動35mm/min

·可增加上稱重模塊,用實時測量提拉出樣品的質量與電源功率輸出配合,提高長晶質量(需要額外增加費用)


真空&氣氛

·真空腔體種可抽真空和通入惰性氣氛

·設備中配有一個數顯防腐真空計(傳感器上涂油陶瓷涂層),測量范圍為10^-5 ~ 1000 torr

·真空度:6.7 x 10-5 torr(采用分子泵系統)

      6.7x 10-2torr(采用機械泵)

·可在本公司購買各種真空泵

圖片4.png 圖片5.png 圖片6.png

感應加熱

·25KW(30-80KHz)感應電源,帶有時間控制器和功率控制器

·感應線圈:Φ90mm×80mmH

·其他尺寸線圈可定制

·設備需要:116L/min的循環水冷機(標配中含KJ6200水冷機)


圖片7.png

控制面板

·觸摸屏控制面板

·可控制提拉速度,提拉行程,籽晶桿轉速和工作溫度


應用注意事項

圖片8.png

圖片9.png圖片10.png    圖片11.png圖片12.png

    熔化材料

   籽晶種入到熔液

     提拉開始

生長的氧化鋁單晶

    生長的Ni單晶


設備尺寸

圖片13.png

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