| 設備名稱 | 高溫MIST /LPCVD系統 MIST-1600-6 |
| 高頻加熱設備 | · 感應電源型號：SPG-50K-15AB · 輸入電壓：三相380±20% 50/60Hz · 輸入功率：15KW · 輸出電流：7-70A · 震蕩頻率：30-100KHZ · 保護系統：帶有水壓、過熱、功率過高保護 · 加熱系統尺寸：線圈內徑Φ220mm，高度70mm,采用Φ8水冷銅管繞制，圈數4圈 · 冷卻水要求：水壓≥0.2Mpa 水流量≥6L/min 溫度設定為30℃。 |
| 石英腔室 | · 石英爐管：Φ8.5”*500mm · 石墨樣品臺：內徑φ155mm（可放置6英寸基片） · 保溫材料：石墨氈 |
| 密封法蘭和接口 | 上端法蘭： · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用 · 一個不銹鋼截止閥控制進氣； · KF-16的接口連接一個數顯防腐真空計； · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用 · 一個不銹鋼球閥控制出氣； · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為氣液混合氣的進氣口； · 帶安全泄壓閥：當氣壓超過0.02MPa時會自動放氣 · 帶觀察窗口：可觀察內部的情況，尺寸φ35mm 下端法蘭： · 一個φ6.35mm的鎧裝熱電偶接口，熱電偶可直接插入到石墨樣品臺底部 · 一個KF-25抽真空接口 |
| 控溫模式 | 溫控系統： · 50段智能控溫儀，可設置50段升降溫程序 · PID方式調節溫度 · 帶有溫度上限報警，超過上限溫度會切斷加熱開關，停止加熱 · 控溫精度:±1度 · 熱電偶：C型 長度400mm 工作溫度： · 最高溫度： 1600℃＜1h，1500℃長期使用 · 推薦升溫速率：≤2℃/S |
| 可加熱氣液混合系統 | · 氣液混合罐材料：316不銹鋼 · 容積：100ml · 壓力表范圍——-0.1-0.15MPa · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用，一個不銹鋼截止閥控制進氣； · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用，一個不銹鋼截止閥控制出氣 加熱部分： · 出氣管道纏繞加熱帶最高溫度可達150度，采用K型熱電偶測溫，由獨立的溫控系統進行控溫 · 混合罐外面套有加熱環，最高溫度可達150度，采用K型熱電偶測溫，由獨立的溫控系統進行控溫 |
| 氣體/蒸汽分散噴頭 | · 材料：氮化硼或石墨
· 噴頭直徑：φ4”，噴孔直徑φ0.5mm · 氣液混合罐的出氣口連接到噴頭的進氣口，采用不銹鋼進行連接，管道外采用了加熱帶進行加熱 |
| 數顯防腐真空計 | · 型號：3PC3-011-1100（PCG554） · 測量范圍：800torr到1*10-5torr · 電源：DC24V ，配有220V轉24V的電源適配器
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| 水冷設備（選配 | · 型號：CW-6200 · 輸入電壓：220-240V 50HZ · 輸入電流：2.3-13A · 最大功率：2.3KW · 水箱容量：15L
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| 真空系統(選配） | · 型號：無油真空泵 GSP-3 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：8.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 轉聲：1800rpm
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| 供氣系統（選配） | · 型號：GSL-3Z-LCD · 電源：AC220V/50Hz · 功率：500W · 質量流量控制器量程：100.200.500（量程可選，氣體可選） · 三路進氣一路出氣（進氣出氣方式可選） · 機械壓力表：-0.1-0.15MPa · 連接管道；直徑φ6.35mm的316材質的不銹鋼管 · 觸摸屏界面：方便操作
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| 氣體探測器（選配） | · 可選配氫氣探測器在此系統中，可以實時監測設備氫氣的泄漏情況； · 氫氣監測范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ · 報警點設置：氫氣報警器設置有兩個報警，第一級的報警點50ppm，一旦探測到氫氣濃度達到此值時，氫氣報警器將發出蜂鳴報警聲， 提醒客戶檢查漏氣點。第二級的報警點為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達此值時，系統自動關閉氫氣進氣閥。
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| 外形尺寸 | 700長*1300寬*1600mm高
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| 重量 | 約100KG |
| 保質期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
使用注意事項 | · 腔室內的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱， 則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關 防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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