| 設(shè)備名稱 | 滑動(dòng)式三溫區(qū)管式爐PECVD系統(tǒng) OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL |
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| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ·滑軌式可快速加熱和快速冷卻； ·三個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度最大可達(dá)200℃ ·可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 |
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| 加熱爐參數(shù) | ·電源：電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz ·功率4.8KW ·最高溫度：1200℃（小于0.5小時(shí)） ·連續(xù)工作溫度：1100℃ ·加熱區(qū)長(zhǎng)度：600mm，（三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm) ·最大升溫速率: ≤ 20 °C/min（加熱元件壽命原因建議升溫速率） ·爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。
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| 溫控系統(tǒng) | ·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃） ·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·控溫精度：±1℃ ·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ·RS485通訊接口 ·PC控制軟件：可選購PC控溫軟件，可用電腦控制爐體和記錄數(shù)據(jù)
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| 射頻電源 |
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| 真空系統(tǒng) | ·采用TRP-12的雙旋真空泵； ·KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ·真空度可達(dá)10-2Torr。
·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進(jìn)氣量小于150sccm，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度） ·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進(jìn)氣量1L/min，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度） |
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| 供氣系統(tǒng) | ·四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%） ·流量范圍： 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ·電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ·氣體進(jìn)出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ·不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ·PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置 注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ·設(shè)備總體尺寸：2500X750X1510mm(長(zhǎng)寬高） ·凈重：310kg
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| 注意 | 注意事項(xiàng)：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試，（有法蘭過熱情況） |
注意事項(xiàng)：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試，（有法蘭過熱情況）
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