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SOI基片
- 型號：
- Si+SiO2+Si
- 產品概述：
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如果您需要下載產品的電子版技術文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 技術參數
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1.國產SOI ①頂層2um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1 , P型，總厚度大約621um, 平整度LTV<1um ②頂層3um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1，P型，總厚度大約622um, 平整度LTV<1um 電阻率15-25 ohm.cm, 總厚度在625um左右 常規參數： SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ6″*0.625- | SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ4″*0.525- | SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ4″*0.525- | SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ6″*0.525- | SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ6″*0.675- | SOI(Si硅+SiO2二氧化硅+Si硅) | 片 | φ6″*0.675- |
2.進口SOI參數： 點擊查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx 更多參數，歡迎垂詢！
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| 常規尺寸
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dia4" |
| 鍍膜層
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20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped |
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