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1200℃三溫區開啟式立式管式爐
關鍵字:
三溫區
型號:
OTF-1200X-III-VT
產品概述:
OTF-1200X-III-VT是一款三溫區的立式管式爐,最高溫度可達到1200℃。此款管式爐不僅可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行快速地熱處理和淬火,同時也可用PVD、CSS和CVD方法來制作薄膜。三個溫區分別由三個獨立的溫控系統來控制,每個溫區可設置50段升降溫程序,其控溫精度為+/-1℃,爐體下端安裝有一移動爐架,以便于設備移動。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃三溫區開啟立式爐-OTF-1200X-VT-III

爐體結構

l采用雙層殼體結構并帶有風冷系統

l爐體設計為開啟式,以方便與更換爐管

l采用高純氧化鋁作為爐膛材料,爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命


基本參數

溫度:長期1100℃ (1200℃<1h)

建議升溫速率:≤10℃/min

熱偶:K型熱偶    

電壓:AC208-240,50Hz  


最大功率: 7KW


爐管尺寸

以下幾種尺寸的高純度石英管可選:


lOD:Φ50 mm×L1000mm


lOD:Φ60 mm×L1000mm


lOD:Φ80 mm×L1000mm


lOD:Φ100 mm×L1000mm


加熱區

加熱區長度:900mm (三溫區300+300+300mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

溫控系統

l包含一款YD858P型溫度控制器


lPID自動控溫系統


l智能化50段可編程控制


l控溫精度:±1℃


l默認DB9 PC通信連接端口


l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。


密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環,以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進行燒結

2.可選:本公司生產的帶鉸鏈式法蘭和進口的防腐型數字式真空計

  

3.多種接頭可選,具體請咨詢銷售部


外形尺寸

 1300(L)×630(W)×1780(H)(2019.11.14--JS2)


質保期

一年保修,終身技術支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。


點擊查看售后服務承諾書


真空系統

l通過機械泵可達到10E-2 Torr.參考值,具體請點擊

l通過分子泵泵可達到10E-5 Torr.參考值,具體請點擊

l漏氣率< 5 mTorr / min.參考值,具體請點擊


質量認證

·此產品已通過CE認證

  證書編號: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證



使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊。

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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