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1200℃雙溫區4坩堝分體式HPCVD爐(帶進樣系統)
關鍵字:
雙溫區、開啟式、依次移動
型號:
OTF-1200X-II-ZL
產品概述:
OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內部移動的(在真空氣氛保護環境下移動)管式爐,最多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機構,可將坩堝在爐管內推出后再拉回,讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設備可進行物理化學混合沉積(HPCVD),快速熱蒸發(RTE)等實驗,適合制備多層二維晶體材料。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
開啟式管式爐
  • 雙溫區管式爐:兩個獨立的溫控系統分別獨立控制兩個溫區

  • 加熱區長度:溫區1:200mm, 溫區2:200mm

  • 爐管材料:高純石英

  • 爐管尺寸:外徑: 60 ×內徑: 54×長: 760 mm

  • 溫度曲線圖(兩個溫區設置在800℃時所測,僅供參考)(可點擊圖片查看詳細資料))

  • 最高工作溫度:1200℃(<1hr)

  • 連續工作溫度:1100℃

  • 控溫精度:+/-1

  •  


真空密封
  • 配有不銹鋼密封法蘭,上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表

  • 進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭,出氣端法蘭接口為KF25接口

  • 法蘭密封圈采用水冷卻,使用時需要通入冷卻水,可在本公司選購循環水冷機

  • 真空度:10E-2 torr(采用機械泵),10-E5 torr(采用分子泵)

  •   


坩堝移動機構(轉輪式法蘭)
  • 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內部,并與坩堝相連接(圖1)

  • 通過步進電機驅動使坩堝移動,并和熱電偶和坩堝一起移動,實時監測樣品的溫度

  • 進氣端法蘭轉輪式法蘭(圖2)

  • 可同時在轉輪系統中放入4個坩堝,可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中(可在真空狀態或氣氛保護狀態進行運作)


坩堝移動控制
  • 通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置

  • 可控制坩堝最小移動位移為1mm

  • 坩堝最大移動距離為200mm

  •   


防腐型數顯真空計
  • 配有一數顯防腐型真空計

  • 當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換

  • 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性

  • 因為傳感器上鍍有涂層,所以具有較好的抗腐蝕性

  • 測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr


混氣系統
  • 此套設備中配有一2路混氣系統

  • 最大輸出功率:18W

  • 工作溫度:5-45℃

  • 最大氣壓:3×106Pa

  • 精度:±1%FS

  • 質量流量計量程:

  • 1:0-100sccm

  • 2:1-199sccm

  • 可根據客戶要求選購1-5路供氣系統


產品尺寸

2400L×600W×1300mm H
   

質保

一年質保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

質量認證


使用注意事項
  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應用注意事項
  • 此款管式爐具有多種用途

  • 熱蒸發:把蒸發料放在坩堝里,通過移動坩堝來精確找到所需要的蒸發溫度

  • HPCVD:和熱蒸發相似,可通入反應氣體與蒸發的物料反應后再沉積

  • 可用于制作多層二維晶體


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國家專利


專利名稱:多樣品單通道自動切換進樣系統及其進樣方法


專利號:ZL 2016 1 0396132.X


尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究

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