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Idea-電池元件鍍鉬薄膜

發布時間:2021-03-10

圖片2.jpg

結果分析:XRD圖中可以看到,退火后Mo薄膜在40.6°、73.5°、87.3°分別出現了體心立方金屬Mo(110)、(211)、(220)晶面衍射峰,說明鉬呈現多晶相結構,且(110)衍射峰強度遠遠大于其他方向,說明Mo薄膜純度較高,且出現明顯的擇優取生長

4.jpg

第二組

實驗思路:已成功在硅基底濺射鉬薄膜,將基底更換為304電池殼(打磨拋光除去電池殼鍍層,并依次使用酒精,去離子水超聲清洗,70攝氏度真空烘干24h)

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結果分析:XRD圖中可以看到,不銹鋼表面出現Mo薄膜,且在40.5°、73.5°分別出現了體心立方金屬Mo(110)、(211)晶面衍射峰,說明鉬呈現多晶相結構。

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第三組:

實驗思路:已成功在電池殼鍍膜并檢測到有鉬薄膜形成,同樣條件在二級內部鍍膜(鍍膜前已使用酒精清洗,并使用無塵布擦拭干凈后用熱風槍風干)

1.jpg2.jpg3.jpg

  鍍膜前                       鍍膜后(10min)                   鍍膜后(20min)

結果分析:鍍膜時間增加,鉬薄膜顏色略微加深,使用萬用表檢測,導通性良好。

第四組:膜性能測試

圖片1.jpg

結果分析:使用3M膠帶粘黏劃破后的薄膜,發現破口附近無薄膜脫落,說明膜結合力良好。無水乙醇擦拭前后,鉬薄膜無變化,說明膜表面致密性優良,附著力較強。

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2、導電性測試:

實驗思路:使用萬用表對鉬薄膜電阻值進行測試

1.jpg   2.jpg

結果分析:使用萬用表檢測兩個元件內部鍍鉬部分電阻均為0。

圖片3.jpg

結果分析2:打開二極測量裝置,發現內部鍍膜部分顏色加深,使用抹布擦拭,薄膜無明顯脫落痕跡,說明鍍膜在電解液作用下防腐效果優良。

參考文獻:

[1] https://www.doc88.com/p-7843590246566.html《磁控濺射法制備鉬薄膜的研究現狀》

[2] https://pdf.hanspub.org/MS20180600000_37174912.pdf《兩種鉬靶材濺射鉬薄膜的組織性能研究》

[3] http://www.xjishu.com/zhuanli/24/201910724611_3.html《鉬圓PVD磁控濺射鍍膜方法與流程》

特別聲明:

1. 以上所有實驗僅為初步探究,僅供參考。由于我們水平有限,錯誤疏漏之處歡迎指出,我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實驗思路,我們來驗證。

3. 以上實驗案例及數據只針對科晶設備,不具有普遍性。

4. 因為涉及保密問題,以上數據僅為部分數據,歡迎老師與我們聯系,我們非常期待和您共同探討設備的應用技術。


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