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實驗名稱：快速蒸鋁

實驗目的：1h內實現一次快速蒸鋁

實驗設備：GSL-1700X-SPC-2

工藝參數：5min加熱至1100℃，550℃等待追溫且恒溫2分鐘，玻璃罩出現銀色金屬膜時打開擋板蒸鍍1分鐘，蒸鍍結束關閉擋板，停止程序，蒸鍍前真空度為6.1*10-5Pa。

實驗照片:

圖1-1蒸鍍中                  圖1-2蒸鍍后                   圖1-3蒸鍍后

      圖2-1蒸鍍前真空度                           圖2-2蒸鍍前                                圖2-3蒸鍍后

實驗結果：

1、成功在玻璃基底上蒸鍍鋁膜；

2、鋁膜極易氧化，蒸鍍結束需要立刻停止程序，且降溫全程保持分子泵運行；

3、取樣時，用惰性氣體代替空氣向真空腔體內補壓；

4、鍍膜后的樣品需要及時隔氧保護，以免發生氧化。

特別聲明：

1. 以上所有實驗僅為初步探究，僅供參考。由于我們水平有限，錯誤疏漏之處歡迎指出，我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實驗思路，我們來驗證。

3. 以上實驗案例及數據只針對科晶設備，不具有普遍性。

4. 因為涉及保密問題，以上數據僅為部分數據，歡迎老師與我們聯系，我們非常期待和您共同探討設備的應用技術。